СТ РК 2.192-2010
(ГОСТ Р 8.630-2007, MOD)
Содержание
6. Требования к квалификации поверителей 8. Условия поверки и подготовка к ней 10. Обработка результатов измерений 11. Оценка неопределенности измерений параметров 12. Оформление результатов поверки
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы (далее - микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 м до 10-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок. Межповерочный интервал микроскопа - один год.
Для применения настоящего стандарта (документа) необходимы, следующие ссылочные документы. Для датированных ссылок применяют только указанное издание ссылочного документа, для недатированных ссылок применяют последнее издание ссылочного документа (включая все его изменения): СТ РК 1.9-2007 Государственная система технического регулирования Республики Казахстан. Порядок применения международных, региональных и национальных стандартов иностранных государств и других нормативных документов по стандартизации в Республике Казахстан. СТ РК 2.4-2007 Государственная система обеспечения единства измерений Республики Казахстан. Поверка средств измерений. Организация и порядок проведения. ГОСТ 12.2.061 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам. ГОСТ ИСО 14644-1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха. ГОСТ Р 8.628-2007* Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требований к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления. ГОСТ Р 8.629-2007* Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки. ГОСТ Р ИСО 14644-2* Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1. ГОСТ Р ИС0 14644-5* Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация. Документ показан в сокращенном демонстрационном режиме
Чтобы продолжить, выберите ниже один из вариантов оплаты
Доступ к документам и консультации
от ведущих специалистов
Вы можете купить этот документ
Как купить документ? 8000 тг
|