ГОСТ 26239.0-84 «Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа»

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ГОСТ 26239.0-84

КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ
Общие требования к методам анализа

Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. General requirements for methods of analysis

1. Настоящий стандарт устанавливает общие требования к методам анализа полупроводникового кремния, исходных продуктов для его получения (технический кремний, четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и кварца.

2. Общие требования к методам анализа по ГОСТ 26239.0-84 (СТ СЭВ 314-76).

3. Отбор и подготовку проб к анализу проводят по нормативно-технической документации.

4. Анализируемые пробы и материалы, используемые для приготовления образцов сравнения и стандартных растворов, взвешивают с погрешностью не более 0,0002 г.

5. Для взятия навесок используют аналитические лабораторные весы типа ВЛА-200-М или ВЛР-20Г, технические весы ВПТ-1, торсионные весы ВТ-500 по ГОСТ 13718-68 или аналогичных типов.

6. Для нагревания растворов применяют электрическую плитку с закрытой спиралью по ГОСТ 14919-83.

7. Для приготовления растворов и проведения анализов применяют дистиллированную воду по ГОСТ 6709-72 и реактивы квалификации не ниже ч.д.а., если не указана другая.