|
СТ РК ISO 15472-2015 Поверхностный химический анализ
(ISO 15472:2010 Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales, IDT)
3. Символы и термины в аббревиатурах 5. Порядок калибровки энергетической шкалы
Введение
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (XPS) широко используется для анализа поверхности материалов. Элементы в образце (за исключением водорода и гелия) определены из сравнения энергии соединения в их основных уровнях, определяемых на основе измеренного фотоэлектронного спектра, с составлением таблиц энергий для различных элементов. Информация о химическом состоянии таких элементов может быть получена из химических сдвигов, измеренного фотоэлектрона и свойств Оже-электронов по отношению к тем, в базисном состоянии. Идентификация химического состава основывается на измерении химических сдвигов с точностью в диапазоне до 0,1 эВ (электронвольт); поэтому отдельные измерения должны быть сделаны, и справочные источники должны быть доступны с соответствующими точностями. Калибровки энергии соединения в масштабах XPS инструментов также требуются с погрешностью 0,2 эВ или менее. Этот метод калибровки инструментальных шкал энергии соединения использует металлические образцы чистой меди (Cu), серебра (Ag) и золота (Аu) и применим к рентгеновским фотоэлектронным спектрометрам с немонохроматизированными алюминиевыми (Аl), или магниевыми (Mg) рентгеновскими лучами или монохроматизированными алюминиевыми (Аl) рентгеновскими лучами. Это справедливо для диапазона энергии соединения от 0 эВ до 1 040 эВ. XPS инструменты калиброваны для обеспечения анализа в рамках ISO/IEC 17025 [1], а для других целей, возможно, потребуется заявление о предполагаемой погрешности калибровки. Эти инструменты в калибровке для измерения энергии соединения в определенных заданных пределах допусков, ±δ. Значение δ не определено в настоящем стандарте, так как это будет зависеть от применения и конструкции прибора XPS. Значение δ выбрано пользователем данного стандарта, на основе опыта использования стандарта, стабильности калибровки прибора, неопределенности измерений, необходимых для энергии соединения в предполагаемых применениях прибора и усилий, понесенных в проведении калибровки. Настоящий стандарт обеспечивает информацию, по которой подходящее значение δ может быть выбрано. Документ показан в сокращенном демонстрационном режиме
Чтобы продолжить, выберите ниже один из вариантов оплаты
Доступ к документам и консультации
от ведущих специалистов
Вы можете купить этот документ
Как купить документ? 7500 тг
|