ГОСТ 26239.7-84 «Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота» (изм. 1)

ГОСТ 26239.7-84

Кремний полупроводниковый
Метод определения кислорода, углерода и азота

Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination

Содержание

1. Общие требования

2. Аппаратура, материалы и реактивы

3. Подготовка к анализу

4. Проведение анализа

Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации

ускоренными ионами 3Не и протонами в интервалах значений массовых долей примесей:

Метод основан на облучении анализируемых проб и образцов сравнения ускоренными ионами ³Не (определение кислорода и углерода) или протонами (определение азота) с последующим измерением наведенной активности радиоактивных изотопов ¹⁸F и ¹¹С на спектрометре -совпадений.

Содержание примесей в анализируемой пробе определяют путем сопоставления интенсивностей счета импульсов радиоактивных изотопов определяемых элементов в пробах и образцах сравнения.

1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1.1. Общие требования к методу анализа - по ГОСТ 26239.0-84.

2. АППАРАТУРА, МАТЕРИАЛЫ И РЕАКТИВЫ

Ускоритель заряженных частиц - источников ионов ³Не с энергией 13 мэВ при токе ионов в пучке 1-5 мкА, источник протонов с энергией не менее 6,5 МэВ и током ионов в пучке 1-5 мкА.

Спектрометр -совпадений с кристаллами Nal (T1), имеющими размер не менее 100×70 мм.

Универсальный радиометр-дозиметр типа МКС-01Р.

Бюксы типа 1К-НЖ для радиохимических работ с дополнительной защитой из свинцовых кирпичей и просвинцованного стекла в соответствии с требованиями НРБ-76/87/

Средства индивидуальной защиты от излучения и загрязнений радиоактивными веществами, согласно требованиям ОСП-72/87.

Секундомер по ГОСТ 5072-79.

Весы аналитические.

Центрифуга лабораторная со скоростью вращения 5000 об/мин.

Плитка электрическая.

Штангенциркуль типа В20034.

Насос водоструйный лабораторный стеклянный.

Шайбы медные диаметром 35 мм, высотой 13 мм с комплектом съемных алюминиевых диафрагм толщиной 0,4-0,5 мм. Внешний диаметр диафрагм 30 мм, диаметры отверстий 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14 мм, по 5-8 шт. каждого размера.

Кассеты алюминиевые диаметром 28 мм, высотой 5 мм. Толщина дна и крышки кассеты по 1,5 мм.

Фольга алюминиевая толщиной 10, 15, 23, 34, 50, 70 мкм.

Асбест листовой.

Набор пробирок из фторопласта-4 вместимостью по 20 см³.

Щипцы тигельные.

Тигли никелевые диаметром 30 мм, высотой 50 мм.

Печь тигельная вертикальная, диаметр кварцевой вставки 60 мм, высота 200 мм, мощность 1,5 кВт или аналогичная печь.

Шланг резиновый диаметром 6 мм.

Шланг полихлорвиниловый диаметром 6 мм.

Силикагель для хроматографии марки КСК с размером зерна 100 мкм.

Бумага фильтровальная.

Бумага полулогарифмическая по ГОСТ 334-73.

Калька.